運用先進的技術進行基礎開發設計
緊湊型結構設計,X射線管、樣品、探測器之間更加精細緊密,大大提高信號強度
對用戶友善的全景+微區雙相機設計,觀察樣品更為全面,微區相機小至納米級別的分辨率,實現更為快速便捷的測試
射線光學系統採用國際最新的多導毛細管技術,信號強度比金屬準直系統高出數個等級
可選擇多毛細管,@ 25 μm、15 μm、5 μm FWHM等,滿足用戶測試需求
多導毛細聚焦光學元件的光束尺寸可小至5um,可測量一般金屬准直器無法測量的微區
獨特的光學器件,可以測量微電子產品、高級電路板、連接器、引腳框架和晶片的超微小區域。可以測量納米級的鍍層,常規鍍層測試遊刃有餘
可以同時測試23層鍍層和24種元素
測量範圍:從鋁(13)到鈾(92)之間的元素分析從元素鋰(3)到鈾(92)的涂鍍層厚度可以測量
無標準片測量,內部設定12種純元素光譜庫
可程式設計自動位移平臺,無人值守、自動檢測樣品
影像識別功能,自動判定測試位置
完全符合 DIN ISO 3497 和 ASTM B 568 標準