搭載微聚焦 X 射線發生器和先進的光路轉換聚焦系統擁有無損變焦檢測技術，最小測量面積可達 0.01mm²
手動變焦功能，可對各種異形凹槽件進行無損檢測，

核心 EFP 演算法，可對多層多元素快、准、穩的做出資料分析，選配高精密微型移動滑台，可實現多點位、多樣品的精准位移和同時檢測 可同時分析 23 個鍍層、24 種元素，測量元素範圍：氯Cl(17）-鈾 U（92），塗鍍層分析範圍：鋰 Li（3）- 鈾U（92），塗鍍層最低檢出限：0.005μm 人性化封閉軟體，自動判斷故障提示校正及操作步驟，避免誤操作
標配φ0.2mm 准直器
 配有微光聚集技術，最近測距光斑擴散度小於 10%