XTU系列光譜儀，採用一般正比計數器. 適用於平面、微小樣品或者微凹槽落差30mm內 的異形件塗鍍層分析檢測, 並可進行藥水檢測
XTU系列具備緊湊的結構和大容量的開槽設計樣品倉, 即使超過樣品倉的工件也能測試
搭配微聚焦加強型射線管和先進的光路轉換對焦系統以及高感度變焦測距裝置, 可測試微小異形樣本
檢測各種金屬及非金屬鍍層, 最薄0.005um的檢出限, 實際最小測量面積0.002mm2, 凹槽深度測量範圍可達0-30mm
外置高精密度滑軌, 可以快速控制樣品移動, 移動最小單位0.005mm, 多樣樣品可以輕易操作
元素分析範圍: 氯(Cl)-鈾(U)
* 涂鍍層分析範圍: 鋰(Li)-鈾(U)
* 一次同時分析23層鍍層24種元素
* 厚度偵測極限: 0.005um
* 最小測量面積: 0.002mm2
* 對焦距離: 0-30mm(可變焦)
* 樣品室設計: 500*360*215mm
* C型設計, 允許測試超出樣品室板的物體
* 工作台承重 : 5KG